ช่วงการเดินทาง
20มม
ปณิธาน
0.125μm
การทำซ้ำ
1μm
ความตรง
2μm
ความเท่าเทียม
5μm
การขว้าง
10″-50μrad-
กำลังหาว
ความเร็วสูงสุด
5มม/วินาที
กำลังรับน้ำหนัก
10กก
น้ำหนัก
1.5กก
